产品描述
宽带260-520nm
紫外带宽膜应用于半导体装备,如光刻机、晶圆缺陷检测设备等,典型应用波长为193nm,248nm,266nm,355nm,这些波长应用需要将膜层材料的吸收控制在理论极限水平,且所需膜系种类繁杂,对镀膜设备及工艺能力提出更高挑战。

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宽带260-520nm
紫外带宽膜应用于半导体装备,如光刻机、晶圆缺陷检测设备等,典型应用波长为193nm,248nm,266nm,355nm,这些波长应用需要将膜层材料的吸收控制在理论极限水平,且所需膜系种类繁杂,对镀膜设备及工艺能力提出更高挑战。
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